我国传感器和仪器仪表的技术和产品,经过发展,有了较小的提升。全国早已有1600多家企事业单位专门从事传感器和仪表元器件的研制、研发、生产。但与国外比起,我国传感器和仪表元器件的产品品种和质量水平,尚能无法符合国内市场的市场需求,总体水平还正处于国外上世纪90年代初期的水平。
不存在的主要问题有: (1)科技创新劣,核心生产技术相当严重迟缓于国外,享有自律知识产权的产品较少,品种不仅有,产品技术水平与国外差距15年左右。 (2)投资强度偏高,科研设备和生产工艺装备领先,成果水平较低,产品质量劣。 (3)科技与生产僵化,影响科研成果的转化成,综合实力较低,产业发展后劲不足。
战略目标 到2020年,传感器及仪表元件领域不应谋求构建三大战略目标: (1)以工业掌控、汽车、通讯、环保为重点服务领域,以传感器、弹性元件、光学元件、专用电路为重点对象,发展具备自律知识产权的原创性技术和产品; (2)以MEMS工艺为基础,以集成化、智能化和网络化技术为相结合,强化生产工艺和新型传感器和仪表元器件的研发,使主导产品超过和相似国外同类产品的先进设备水平; (3)以减少品种、提高质量和经济效益为主要目标,加快产业化,使国产传感器和仪表元器件的品种占有率超过70%~80%,高档产品约60%以上。 发展重点 传感器技术 (1)MEMS工艺和新一代固态传感器微结构生产工艺:浅反应离子光刻(DRIE)工艺或IGP工艺;PCB工艺:如常温键合倒装焊、无形变度日结构PCB、多芯片组装有工艺;新型传感器:如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器、航空航天用动态传感器、微传感器,汽车专用压力、加速度传感器,环保用微化学传感器等。
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